• 旦顺8寸晶圆class100可联网封装专用无尘烘箱 MES烘箱QMO

    详细信息

     品牌:旦顺  型号:QMO  加工定制:是  
     类型:无尘  材质:不锈钢  温度范围:20℃~300 ℃ 
     功率:待定  工作室尺寸:定制 mm 适用范围:晶圆  
    8寸晶圆class100可联网封装专用无尘烘箱 MES烘箱

    智能烘箱过程管理系统由上海旦顺实业有限公司自主研发,基于TCP/ip协议,与工厂系统对接,实现自动化烘烤,过程管理。控制方便、操作简单、灵活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的构造,大大提高生产力!
    智能烘箱过程管理描述:
    1.> 工厂系统,选择烘烤工艺,启动/停止烘箱;
    2.> 工厂系统根据,过程判断待烤料件工位,记录反馈工位信息;
    3.> 系统控制开/关门等动作;
    4.>  系统记录并处理各种烘箱异常事件。如:超温,氮气不足,含氧量超标、门未关到位;
    5.> 实施记录各种相关数据,如,温度,料件ID,工艺信息
    智能烘箱主要参数介绍:
    温度范围:室温+20℃~300/400/500/600
    均匀度:±1.5%
    洁净等级:Class10  Class100(洁净度要求可根据客户需求配置)
    含氧量:<=20PPM 50PPM 100PPM 200PPM 1000PPM (含氧量要求可根据客户需求配置)
    升温速度:常温~+600,升温速率:0~7/min,升温斜率程序可控
    降温速度:降温斜率程序可控,500~300℃约3~5/min,300~120℃约1~3/min,120~65℃约0.5~1/min
    控制系统优势介绍
    控制系统 工控电脑+欧姆龙PLC
    权限 给每个管理者、工程师、操作员独立用户名和密码;
    给每个操作者,自定义分配权限(如:启动,停止,调取工艺,调试,查看报表……)
    记录当前操作者的所有操作记录;
    控制方式切换 本地模式 由操作者,创建工艺、选择工艺、执行;
    远程模式 客户系统发送运行工艺指令。支持:MES, SECS/GEM    (其他系统,可沟通开发)
    数据信息(数据信息可以存10年以上!) 运行工艺信息记录
    运行数据记录(如:温度、时间、含氧量、气体流量、压力……)
    事件记录(开/关门事件、运行/停止事件、报警事件、故障事件)
    通讯记录(与客户系统通讯记录)
    操作记录(操作者操作记录,如:登录,注销,故障处理……)
    故障信息显示 通讯故障
    加热断线
    循环风机故障
    气体管路故障
    异常处理 上偏差报警、下偏差报警、上偏差报警停机、上限报警、上限报警停机;(控制点和采样点)
    独立设备温度超限断电;
    异常断电
    公司名称:上海旦顺实业有限公司 业务经理:蒋鑫;  手机号:15221744475,24小时服务热线:400-823-8860
    公司主页:www.espec.com.cn
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