class10级晶圆烘烤专用300度热风循环无尘烘箱
详细信息
| | 品牌：上海旦顺 | | 型号：COL-4 | | 加工定制：是 | |
| | 类型：恒温 | | | | | |
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class10级晶圆烘烤专用300度热风循环无尘烘箱 |
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一、Class 10无尘烘箱产品概述:
本产品是参照GB/T11158-1989，GB2423.2-1989干燥箱技术条件及国家相关标准研究制造，广泛应用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、医药、实验室等生产及科研部门。
二、Class 10无尘烘箱主要技术指标：
2.1.无尘烘箱型号：COL-4
2.2无尘等级：Class 10
2.3温度范围： +60℃～ +300℃；
2.4温度均匀度：±1.5%;
2.5温度波动度：±0.5℃（空载）
2.6温控精度：±0.1℃;
2.7烘箱搁板为活动形式。
三、Class 10无尘烘箱箱体结构：
3.1烘箱由箱体部分、电器控制柜部分、电加热及风道系统部分组装而成，结构合理，外观美观大方；
3.2全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘；
3.3箱体材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁可防止微尘；
3.4内胆材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁去油污避免烘烤时产生 PARTICLE；
3.5中桶材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁去油污及氩焊密封加工(防污染)。
3.6 保温材料：超细玻璃棉；
3.7排 气 口：ф50；
3.8加热方式：无尘加热器
3.9采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"装置 (特殊风道设计)送风，过滤效率99.99%，Class 100,排气口：３"φ(附自动启闭风门)，以达到强烈循环效果而降温。
3.10 压缩气体过滤器，可把气体过滤到CLASS 10，净化气体流量：300L/分钟。
Class 10无尘烤箱热线：400-8238860， 联系人：蒋鑫,
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class10级晶圆烘烤专用300度热风循环无尘烘箱 |
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一、Class 10无尘烘箱产品概述:class10级晶圆烘烤专用300度热风循环无尘烘箱
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