• class10级晶圆烘烤专用300度热风循环无尘烘箱

    详细信息

     品牌:上海旦顺  型号:COL-4  加工定制:是  
     类型:恒温    
    class10级晶圆烘烤专用300度热风循环无尘烘箱
    一、Class 10无尘烘箱产品概述:
    本产品是参照GB/T11158-1989,GB2423.2-1989干燥箱技术条件及国家相关标准研究制造,广泛应用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、医药、实验室等生产及科研部门。
    二、Class 10无尘烘箱主要技术指标
    2.1.无尘烘箱型号:COL-4
    2.2无尘等级:Class 10
    2.3温度范围: +60℃~ +300℃;
    2.4温度均匀度:±1.5%;
    2.5温度波动度:±0.5℃(空载)
    2.6温控精度:±0.1℃;
    2.7烘箱搁板为活动形式。
    三、Class 10无尘烘箱箱体结构
    3.1烘箱由箱体部分、电器控制柜部分、电加热及风道系统部分组装而成,结构合理,外观美观大方;
    3.2全周氩焊,耐高温硅胶迫紧,SUS304#不锈钢电热产生器,防机台本身产生微尘;
    3.3箱体材料:采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁可防止微尘; 
    3.4内胆材料:采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁去油污避免烘烤时产生 PARTICLE; 
    3.5中桶材料:采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁去油污及氩焊密封加工(防污染)。
    3.6 保温材料:超细玻璃棉; 
    3.7排 气 口:ф50; 
    3.8加热方式:无尘加热器
    3.9采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"装置 (特殊风道设计)送风,过滤效率99.99%,Class 100,排气口:3"φ(附自动启闭风门),以达到强烈循环效果而降温。
    3.10 压缩气体过滤器,可把气体过滤到CLASS 10,净化气体流量:300L/分钟。
    Class 10无尘烤箱热线:400-8238860, 联系人:蒋鑫,
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    class10级晶圆烘烤专用300度热风循环无尘烘箱
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