• 8寸晶圆无尘烘箱

    详细信息

     加工定制:是  适用物料:多种可用  结构形式:多层式  
     应用领域:工业  功率:11.5 kw 外形尺寸:1100×1870×1150 m 
     品牌:旦顺  型号:COL-4   
    PR胶涂覆就是在基板上涂上一层光刻胶(树脂、感光剂、添加剂、溶剂),在完成PR胶的涂覆以后,PR胶还是处于一个液体的状态,为降低PR胶的流动性需要将PR胶进行干燥处理。
    1.产品名称:无尘烘箱  
    2.产品型号:COL-4
    3.无尘等级:Class 10;
    4.温度范围: +60℃~ +300℃;
    5.温度均匀度:±1.5%;
    6.温度波动度:±0.5℃(空载)
    7.温控精度:±0.1℃;
    8.烘箱搁板为活动形式。
    9.设备型号:工作室尺寸:W600×H1200×D800 ;外形尺寸W1100×H1870×D1150;加热功率11.5 kw
    10.烘箱由箱体部分、电器控制柜部分、电加热及风道系统部分组装而成,结构合理,外观美观大方;
    11.全周氩焊,耐高温硅胶迫紧,SUS304#不锈钢电热产生器,防机台本身产生微尘;
    12.箱体材料:采用进口SUS304#镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁可防止微尘; 
    13.内胆材料:采用进口SUS304#镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产生 PARTICLE; 
    14.中桶材料:采用进口SUS304#镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污及氩焊密封加工(防污染)。
    15 保温材料:超细玻璃棉; 
    16.排 气 口:ф50; 
    17.加热方式:无尘加热器;
    18.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A装置 (特殊风道设计)送风,过滤效率99.99%,Class 100
    19.排气口:3"φ(附自动启闭风门),以达到强烈循环效果而降温。
    20. 压缩气体过滤器,可把气体过滤到CLASS 10
    21.控制器采用多段式微电脑温度控制器,具有PID控制参数自动整定功能。
    22.运行方式:恒定运行;
    23. 温度测量:采用特制锴装铂电阻;
    24.设定精度: 温度:0.1℃;
    25.温控输出:SSR输出
    26.完善的安全保护措施:漏电断路器/超温保护/欠相保护/马达过载电流保护/机台异常蜂鸣器警示
    烘箱热线:400-823-8860 传真: QQ:--- , 联系人:蒋鑫,参考网站: .
     
     
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